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 產(chǎn)品介紹：

C9000H直線電機(jī)驅(qū)動空氣軸承平臺在垂直表面和水平表面一并采用了有效的預(yù)加載處理。它可提供突出的高剛性，是重載和偏置負(fù)載應(yīng)用的理想選擇。內(nèi)置的直線伺服電機(jī)采用了零齒槽效應(yīng)的無鐵芯結(jié)構(gòu)，無吸引力，提供非常卓越的平滑運動。

性能指標(biāo)：

行程范圍:  50 mm\ 100 mm\ 200 mm\ 300 mm\ 400 mm\ 500 mm  
驅(qū)動系統(tǒng):  直線伺服電機(jī) (PAEKER-9000-A-668H)
反饋:  非接觸直線光柵尺
分辨率: 0.001 μm -0.2 μm  
最大行程速度:  3m/s (80 in/s)
最大直線加速度:  2 g -20 m/s2  (無負(fù)載)
最大負(fù)載:  55.0 kg
連續(xù)保持推力:  153.6 N
峰值推力:  742.8 N
全行程精度:   ±0.2 μm ~ ±20.0 μm   
重復(fù)定位精度:  ±0.1 μm~±0.3 μm 
直線度和平面度: 最大偏差  ±0.25 μm ~ ±2.0 μm
傾斜度/滾擺/偏擺: ±0.5 arc sec ~ ±5 arc sec 
空氣軸承工作壓力: 80 psi (5.5 bar) ±5 psig (0.3 bar)
空氣消耗量: <2 scfm
平臺質(zhì)量: 120.7 kg ~ 156.5 kg